::: reklama@pbprog.kz
::: editor@pbprog.kz
::: webmaster@pbprog.kz
Veeco и imec представили первый в отрасли технологический процесс, совместимый с крупносерийным производством, который позволяет интегрировать титанат бария (BaTiO3 или BTO) на платформе кремниевой фотоники
BTO — перспективный материал с уникальными электрооптическими свойствами, который можно использовать для высокоскоростной и маломощной модуляции света в новых областях применения, таких как высокоскоростные оптические приемопередатчики, квантовые вычисления, световое обнаружение и определение дальности (LiDAR), а также в приложениях дополненной и виртуальной реальности.
Исторически сложилось так, что подходы к интеграции BTO не позволяли достичь желаемых показателей стоимости, чтобы сделать его пригодным для крупносерийного производства. Компании представили свою первую кластерную систему на основе молекулярно- лучевой эпитаксии (MBE).
Новая 300-миллиметровая платформа предназначена для эпитаксии монокристаллических тонких пленок BaTiO3 на кремнии, доступна как для твердотельной, так и для гибридной молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE). Благодаря интеграции этих альтернативных методов роста система сможет осаждать BTO на кремнии с улучшенной воспроизводимостью и по более низкой цене, чем классические методы молекулярно-лучевой эпитаксии.
Ожидается, что рынок оптических приемопередатчиков для передачи данных вырастет до 13,1 млрд долларов в 2030 году по сравнению с 2,9 млрд долларов в 2024 году. Однако для устранения недостатков существующих технологий кремниевых модуляторов, в том числе высокого энергопотребления, низкой производительности (скорости, напряжения питания) и большой площади, внедрение новых электрооптических материалов, таких как BTO, в кремниевую фотонику будет иметь решающее значение.
В настоящее время не существует коммерчески доступного решения для производства этих материалов. В сотрудничестве с Veeco компания imec решает эту отраслевую задачу по разработке масштабируемых решений, позволяющих интегрировать такие материалы, как BaTiO3 и SrTiO3, в кремниевую платформу диаметром 300 мм.