«При использовании обычных углеродных пленок материал наносится в соответствии с формой элемента, а это значит, что проблемы с топографией распространяются вверх и для их устранения требуются дополнительные технологические этапы. Vertos™ Flowable Carbon полностью меняет ситуацию. Материал заполняет элемент снизу вверх и самоплакируется, образуя ровную, однородную поверхность, готовую к следующему этапу формирования рисунка», — сказал Тайлер Сэмпл, вице-президент и руководитель подразделения ключевых продуктов PECVD. «Сочетание контролируемой текучести, термостабильности и селективности по площади в рамках одной платформы PECVD — это то, чего рынок еще не видел. Это открывает путь к созданию архитектур устройств, которые не может обеспечить существующая технология углеродных пленок».