Карбид кремния удвоит срок службы колец фокусировки литографических сканеров

Об этом сообщает издание TheElec. Кольца фиксируют пластину на месте для поддержания потока плазмы и предотвращения загрязнения торцов.

В прошлом для изготовления колец фокусировки использовались кварц и кремний. Но по мере переходя на сухие методы травления увеличивался спрос на кольца из карбида кремния (SiC), которые сейчас используются довольно активно, но и им Samsung готовит замену. Заметим, что кольца из SiC более долговечны, чем кремниевые, что помогает чипмейкерам снизить затраты на производство своей продукции. Кольца из карбида кремния заменяют раз в 15-20 дней, а кремниевые — каждые 10-12 дней.

Сейчас Samsung рассматривает карбид бора (B4C) для замены карбида кремния. По словам источников TheElec, корейская компания работает над новыми кольцами фокусировки совместно с партнёром, у которого есть технологии связанные с карбидом бора, необходимые для тестирования колец.

Как и SiC, B4C устойчив к высоким температурам и плазме. При этом он твёрже, что позволяет использовать изготовленные из него кольца фокусировки ещё дольше. Однако Samsung ещё предстоит решить ряд технических проблем. По словам источников, на текущей фазе испытаний специалисты компании обнаружили повреждения структуры материала при использовании. Samsung также предстоит оценить экономическую целесообразность замены SiC на B4C.

По словам источников, SK hynix также рассматривала возможность замены SiC на B4C и провела соответствующие исследования. Но компания приостановила проект из-за не удовлетворяющей её стоимости перехода на новую технологию.